2014國際光電半導體製程設備研討會

2014.07.18

光電及半導體產業為我國所推動的重點產業之一，在歷經長期的發展下，已具備完整的產業鏈，在全球市場中佔有重要的地位。而太陽能電池及LED之製程與液晶面板及半導體製程相似，因此LED和太陽能光電產業為半導體產業未來發展的新契機所在。太陽能光電產業隨著成本降低而且效益提高，產量會隨之上升，屬於高度垂直整合的產業，它所使用的技術及設備與半導體及液晶面板產業高度類似，當太陽能光電與LED照明產業在未來20年間越發成熟之後，其產值規模很可能會較現在的半導體產業更為龐大。因此，太陽光電與LED照明已經列為能源國家型計畫與新兆元能源產業旗艦計畫之重點項目之一。

在LED產業鏈中，製程設備是最重要的一環，設備之性能與產能直接影響生產成本與產品品質。而金屬有機物化學氣相沉積法(Metal Organic Chemical Vapor Deposition，MOCVD)，是以熱分解反應方式在基材(Substrate)上進行磊晶製程，生長各種III-V族、II-VI族化合物半導體薄膜單晶材料。LED磊晶片在LED製造成本上，占了70%左右，因此磊晶製程對於LED產業扮演極為重要的關鍵角色。一般而言，磊晶製程以MOCVD與分子束磊晶(Molecular Beam Epitaxy，MBE)為主，然MBE系統需使用超高真空腔體，因此成本極高不適合工廠大量生產。MOCVD磊晶機臺則具有磊晶製程速度快、量產能力好、能生長大面積均勻薄膜、靈活的氣體源路控制技術、純淨的材料成長技術以及適合應用在高亮度LED產品等優點，為目前LED產業上最重要的設備。

故從提升國家競爭力的長遠目標來看，MOCVD設備國產化的意義非常重大，不論是LED、半導體材料生產、MEMS微機電或是太陽能電池製造，製程技術的提高都離不開關鍵設備與零組件的自主創新。因此臺灣若要發展自有技術與歐美日等國並駕齊驅，勢必得加速基礎工業設備國產化的步伐，厚實基礎工業技術並將之融入創新設備，提升我國產業競爭力並拓展國際市場。而目前國內設備基礎技術不足、人才缺乏、又面臨國外大廠的專利封鎖，若要加速我國半導體與光電相關產業的設備自主化，人才培育則是首要重點。

為提升國內產業界之設備設計技術能量，以及學術界對製程設備之實務技術認知，國立中央大學將積極尋求各界合作，於99年起開始舉辦『國際光電半導體先進設備研討會』，至今已連續舉辦第五年。此研討會主要由美國應材公司資深研發處長退休，現為中央大學機械系教授利定東博士規劃，邀請國內對光電半導體產業先進設備領域傑出之產、學、研專家，以研討會方式進行學術與技術交流，一方面強化國內相關設備業界之關鍵零組件設計能力，以及拓展製程設備的能量；另一方面彌補學校教師實務經驗之不足，雙向提昇國內產學界製程設備系統與關鍵零組件的設計能力。

期能藉由研討會提供學術界與產業界在光電半導體設備一個學術與技術交流的機會，期待能激盪出更多創意的火花以及產學合作的機會，進而提升國產設備技術層次，提高關鍵零組件自製率，以整合完整之半導體設備與關鍵零組件之本土化產業供應鏈，為我國設備產業盡一分心力。

◎ 指導單位：教育部、科技部

◎ 主辦單位：國立中央大學半導體及光電產業先進設備人才培育資源中心、MOCVD關鍵零組件技術開發暨人才培育計畫、機械工程學系、能源工程研究所

◎ 協辦單位：大同大學機械工程學系、中原大學機械工程學系、元智大學機械工程學系、健行科技大學機械工程學系